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1일 업계 관계자에 따르면 한진만 메모리사업부 마케팅팀 전무는 전날 열린 ‘삼성전자 투자자 포럼 2020’에서 업계 최초로 메모리 반도체에서 EUV 공정 적용을 본격화하기 위해 메모리제조센터 산하에 ‘퀀텀 테스크포스(Quantum TF)팀’을 꾸렸다고 밝혔다.
삼성전자는 약 2~3년 전 이 조직을 꾸려 시스템 반도체에만 적용하던 EUV 노광장비를 메모리 반도체까지 확대 적용했다. 현재 퀀텀 TF팀은 EUV 장비를 활용한 차세대 반도체 개발과 공정관리 등을 전담하고 있다.
EUV공정을 활용한 메모리 반도체 기술 패러다임은 더욱 확대될 것으로 보인다. 현재 삼성전자는 세계 최대 규모의 반도체 공장인 평택 2라인을 중심으로 EUV 메모리 공정 확대하고 있다. 평택 2라인에서는 EUV 공정을 적용한 첨단 3세대 10나노급(1z) LPDDR5 모바일 D램을 생산한다. 삼성전자는 이번 D램 양산을 시작으로 차세대 V낸드, 초미세 파운드리 제품까지 생산할 것이라고 했다. 삼성전자가 사업 목표로 내세운 경쟁사와의 ‘반도체 초격차’ 달성을 위해서다.
D램도 EUV, ASML과 긴밀 협력…장비 확보 총력
삼성전자는 전 세계에서 EUV 장비를 독점 생산하고 있는 ASML과 협력도 강화하고 있다. EUV는 최근 반도체 공정에서 가장 주목받는 기술로 10나노 미만의 미세화 공정을 위해서는 EUV 노광 장비가 필수적이다. 웨이퍼에 반도체 회로를 찍을 때 기존 노광 공정에서 사용했던 불화아르곤(ArF)보다 파장 길이가 더 짧아 세밀한 회로를 새길 수 있기 때문이다.
이에 삼성전자 핵심 경영진은 지난주 피터 버닝크 최고경영자(CEO)등 ASML 경영진과 만나 EUV 장비 공급 확대 등을 요청하는 등 양사 간 기술 협력을 논의한 것으로 알려졌다.
반도체 업계관계자는 “향후 반도체 제조사에서 EUV 장비 확보 경쟁은 더욱 치열해질 것”이라며 “삼성이 선제 도입한 EUV 기반 메모리 양산은 경쟁사로도 확대될 전망”이라고 말했다.