아스타, 초정밀 질량분석장비로 반도체 공정 진입 가시화

[이데일리 나은경 기자] 질량분석기 전문기업 아스타(246720)는 자체 개발한 반도체 공정용 초정밀 가스분석장비(GM-TOF) 테스트가 성공적으로 진행되고 있다. GM-TOF는 비행시간(Time-of-Flight) 기반 분석 기술을 활용해, 반도체 제조 공정 중 발생하는 반응 가스의 잔류 여부를 빠르고 정밀하게 모니터링하는 장비다. 이는 반도체 품질, 수율, 공정 안정성 향상에 직접 기여할 수 있는 핵심 기술로 평가받고 있다.

아스타는 TOF 기술 기반의 의료용 질량분석기기(MALDI-TOF)를 개발해 상용화한 경험을 바탕으로, 디스플레이, 이차전지, 반도체 등 다양한 산업 분야로의 기술 확장을 지속해왔다. 특히 국내 유수의 디스플레이 기업에 4년 연속 분석 장비 LDI-TOF를 납품했다. 이차전자 등 타 산업의 회사들 및 연구소들에 판매함으로써, 산업용 질량분석기 분야에서도 경쟁사 대비 높은 기술력을 입증해오고 있다.

반도체 산업에서는 가스모니터링 비행시간 측정(GM-TOF) 기술이 적용된다. 아스타의 GM-TOF는 가스모니터링의 신속성 및 정확도를 높여 반도체 제품의 품질과 안전성 및 수율을 획기적으로 높일 수 있도록 개발됐다. 이번 제품에 적용된 기술은 반도체 제조공정에서 발생되는 다양한 반응가스의 잔류 여부를 빠르고 정밀하게 실시간으로 측정가능하게 한다. 원자 단위의 정밀한 공정이 요구됨에 따라 관련 측정 장비의 중요성이 커지면서 국책과제로 선정돼 국내 반도체 대기업과 테스트를 진행 중이다.

아스타 관계자는 “이번에 반도체용 장비 테스트가 성공적으로 마무리되면, 기술력에 비해 상대적으로 미흡했던 실적 개선이 본격화될 것”이라며 “공정라인용 주문을 기대하고 있으며, 이에 대비하여 대량 생산 및 서비스 기반 구축을 준비해 가고 있다”고 말했다.