예스티, HPSP 상대 특허심판 승소…고압어닐링장비 시장 진입 초읽기

[이데일리 김영환 기자] 예스티(122640)가 고압어닐링장비의 잠금장치 관련 HPSP(403870)의 특허 제1553027호에 대한 소극적 권리범위확인심판에서 승소했다고 25일 밝혔다.

특허심판원은 이날 예스티가 청구한 2건의 소극적 권리범위확인심판에 대해 인용 판결을 내렸다. 예스티의 고압어닐링장비 잠금장치 구조가 HPSP의 특허와 다르다고 판단한 것으로 예스티는 해당 시장 진출에 청신호가 켜졌다.

고압어닐링장비는 반도체의 미세화 공정에서 필수적이다. 웨이퍼와 절연막 사이의 계면 결함을 제거해주는 역할을 한다. 고압의 수소로 계면을 안정화하면 전자의 이동량이 증가해 트랜지스터 성능을 높일 수 있다.

앞서 양사는 지난 2023년 9월부터 소송전을 벌여왔다. HPSP가 독주하던 고압어닐링장비 시장에 예스티가 진출하자 HPSP는 예스티가 자사 특허를 침해했다며 소송을 제기했다.

이를 놓고 예스티는 소극적 권리범위확인 심판과 무효심판을 제기하면서 대응에 나섰다. 소극적 권리범위확인 심판은 예스티 제품이 HPSP의 특허와 관계없는 기술이라고 주장한 심판이고 무효심판은 HPSP 특허가 특허가 아니라고 판단해달라는 심판이다.

지난해 11월 특허심판원이 무효심판을 ‘기각’, 소극적 권리범위확인 심판은 ‘각하’ 처분을 내리면서 기세가 HPSP 쪽으로 기울었다. ‘기각’으로 HPSP의 특허는 인정한 것이지만 ‘각하’는 양사 기술이 다르다는 판단을 내리기 어렵다는 의미였다.

예스티는 자료를 보강해 다시 소극적 권리범위확인 심판을 청구했다. 지난해 9월 특허 등록이 완료된 기술을 포함해 2건의 특허기술을 공개하면서 HPSP 특허와의 무관성을 주장했고 이 주장이 이날 받아들여지게 됐다.

예스티 측은 “HPSP의 특허와는 달리 외부회전체결링이 아예 없고 외부도어 자체가 회전하는 방식이고, 다른 하나는 외부회전체결링이 없을 뿐만 아니라 도어가 2개가 아닌 하나인 원도어 구조로 2가지 구조 모두 HPSP의 특허와 다르다는 것이 명백하다”라며 “이번 판결을 통해 이를 확인받았다는데 의미가 있다”라고 말했다.

이번 결과에 따라 예스티의 고압어닐링장비 시장 진출길이 열렸다. 예스티는 현재 글로벌 반도체회사들과 양산전 PW(Product Wafer) 테스트를 진행 중으로 예스티 측은 연내에 양산테스트를 마무리지을 것으로 보고 있다.

예스티 관계자는 “이번에 소극적 권리범위 심판을 제기한 2가지 잠금장치 구조의 경우 이미 제작을 완료했거나 즉시 제작이 가능하다”라며 “2가지 구조 이외에도 추가로 2가지 구조의 개발을 완료한 상태로 고객사의 요구사항 및 제품의 업그레이드 필요성에 따라 각각의 구조를 적용한 제품을 고객에게 납품할 계획”이라고 전했다.