최기영 과기부 장관은 11일 나노종합기술원을 찾아 테스트베드 구축현장을 시찰하고, 반도체 소재·부품·장비 중소기업을 비롯해 한국반도체산업협회, 삼성, SK하이닉스, ASML코리아 등 반도체 분야 관계자들과 의견을 나눴다.
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나노종합기술원 내에 구축된 테스트베드는 대기업 양산설비와 비슷한 환경을 구축해 중소기업의 소재·부품·장비에 대한 실험·성능평가를 지원하는 역할을 한다. 지난해부터 오는 2022년까지 장비구축비 385억원, 시설 43억원, 공정개발 22억원 등 총 450억원을 투입해 기업과의 기초·적용 단계 성능평가를 수행하고, 기업의 양산평가와 연계를 추진하고 있다.
시설을 활용한 성과도 속속 나오고 있다. 트루윈(적외선 열영상센서)을 비롯해 티엔에스(코로나19 진단키트), 템퍼스(비접촉식 적외선 체온계), DCT(메모리반도체용 하드마스크) 등의 양산, 기술자립 등에 성공했다.
최 장관은 또 일본 수출 규제가 국내 산업계에 자신감을 심어주는 계기가 됐다고 평가했다. 최 장관은 “앞으로 산학연 협력 생태계 구축이 중요하다”며 “나노종기원의 테스트 베드가 상생 협력 생태계 초석이 되길 바라며, 테스트베드를 통해 나온 소재, 부품들이 실제 수요 기업 구매로 이어질 수 있도록 노력해달라”고 당부했다.
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