31일 오후 1시47분 에프에스티는 전날보다 6.23% 오른 4350원에 거래되고 있다.
삼성전자는 메모리 반도체의 슈퍼 사이클(장기 호황)에 힘입어 3분기에 영업이익 14조5300억원을 벌어들였다. 반도체 부문 영업이익만 9조9600억원에 달해 반도체 한 품목만으로 10조원 가까운 수익을 냈다. 여의도 증권가는 삼성전자가 올해 영업이익 55조원을 달성할 것으로 내다봤다.
삼성전자는 EUV 노광을 위한 마스크 검사, 그리고 마스크 보호를 위한 펠리클(Pellicle) 핵심설계를 마무리한 것으로 알려졌다. 내년 초도 생산에 들어가는 7나노 시스템반도체 파운드리에 적용할 것으로 보인다. 시설투자를 대폭 늘려 반도체와 디스플레이 부문에서 2위와의 ‘초격차’를 유지하겠다는 삼성 특유의 경영전략으로 풀이된다.
EUV는 반도체 회로를 그리는 포토 리소그래피(노광)에 사용하는 ‘레이저’로 13.5nm의 짧은 파장을 가지고 있다. 현재 사용하는 방식보다 파장이 짧기 때문에 오밀조밀하게 회로를 그릴 수 있다. 마스크 보호를 위한 펠리클도 개발하고 있다. EUV 노광 장비를 개발할 때 처음에는 펠리클에 대한 개념이 없었으나 마스크에서 계속 결함이 발생하다보니 필수적으로 도입이 이뤄졌다.
이어 “현재 개발중인 EUV 공정용 펠리클 생산 가능 시점에 따라 높은 성장 잠재력을 보유하고 있다”며 “칠러 장비 사업은 고객사의 신규 3D 낸드와 유기발광다이오드(OLED) 투자로 추가적인 수혜가 가능하다”고 덧붙였다.