“중국, 자체 공장 세워 미국측 수출 제한 대응”

[이데일리 김영은 기자] 극자외선(EUV) 생산 국가인 네덜란드가 마이크로칩 생산 공정의 일환인 EUV 리소그래피의 중국 수출을 금지한 가운데 중국이 공장을 세워 해당 장비를 직접 제조할 계획이라는 보도가 나왔다.

화웨이 스마트폰.(사진=AFP)

홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)는 25일(현지시간) “중국이 마이크로칩 생산에 사용되는 리소그래피 장비에 대한 제재를 우회할 새로운 방법으로 ‘제조의 현지화’를 모색하고 있다”며 “입자가속기를 사용해 새로운 리소그래피를 제작할 수 있는 공장을 세우고 있다”고 보도했다.

미국의 대중국 수출 규제에 동참하기로 한 네덜란드 정부는 이달 1일부터 ASML 등 자국 기업에 EUV 리소그래피 장비 등 생산설비를 수출하려면 정부의 라이선스(허가)를 의무로 받는 조치를 시행했다. EUV 리소그래피 장비는 가장 최첨단 리소그래피 장비다. ASML은 EUV 리소그래피 기술과 이 기술에 쓰이는 장비를 보유한 유일 기업이다.

미국은 EUV 리소그래피 장비가 중국으로 넘어가지 않도록 압박을 가해왔다. 현재 기술 수준으로 ASML의 EUV 리소그래피 장비가 없으면 중국 최대 반도체 파운드리업체인 SMIC는 대만 TSMC와 삼성 파운드리를 따라잡을 수 없는 것으로 알려졌다.

칭화대의 탕 촨샹 교수는 대학 웹사이트를 통해 “EUV 리소그래피 장비를 독자적으로 개발하려면 아직 갈 길이 멀다”면서도 “SSMB로 만든 EUV 광원이 제재 기술에 대한 대안이 될 수 있다”고 밝혔다. SSMB는 탕교수 연구팀이 개발한 새로운 발광 메커니즘으로 SSMB를 활용하면 EUV광을 생산해 EUV 공정을 활용한 칩 생산이 가능해진다.

SCMP는 “이 같은 공장 건설 계획은 중국의 저비용 칩 제조를 촉진하고 잠재적으로 중국이 2nm(나노미터) 칩과 그 이상의 첨단 칩 산업 생산에서 선도적인 역할을 하도록 돕는다”고 전했다. 칩의 규모가 작을수록 훨씬 더 고도의 기술이 요구된다.

한편 7nm 공정 반도체 등 첨단 칩을 만들기 위해서는 ASML이 독점 생산하는 EUV 리소그래피 장비가 반드시 필요한 것으로 알려졌으나 최근 중국은 해당 규모의 칩으로 만든 스마트폰(화웨이사의 메이트 60프로)을 출시했다. SCMP는 “화웨이가 칩 제조 분야에서 획기적인 성과를 거두면서 중국의 공장 건설 계획이 대중의 주목을 받게 된 것”이라고 부연했다.

공장 건설 계획은 2017년부터 제시됐다. 계획을 제안한 중국 칭와대 연구팀은 현재 공장 건설 부지를 선정하기 위해 슝안신구 신도시 당국과 활발히 논의하고 있다.