안진호(사진) 한양대학교 신소재공학부 교수는 8일 이데일리와의 인터뷰에서 “EUV 장비를 제대로 돌리기 위해 필요한 특정 소재·부품·장비(소부장)들이 있다. 단순히 사서 쓰는 것이 아니라 공급 기업과 동맹을 맺어 자기 용도에 맞는 소부장 생태계를 꾸려가는 것이 중요하다”며 이같이 말했습니다.
안진호 교수는 EUV 생태계 확장을 위해서는 정부와 기업의 도움이 필요하다고 했습니다. 안 교수는 “정부에서 일본 수출 규제 이후 소부장 기업에 유례없는 R&D(연구개발)지원을 하고 있다”며 “지원에 힘입어 삼성전자 등 기업들이 에프엔에스텍, 동진세미켐 등 본인들이 필요한 소재를 공급하는 기업에 투자하고 그 소재를 사다 쓰는 선순환이 일어나고 있다”고 말했습니다. 그러면서 “정부의 지원과 기업의 투자가 없었으면 국내 기업이 서플라이체인(공급망)을 형성할 가능성이 거의 없었을 텐데, 지금은 넘볼 수 있는 상황이 됐다”고 덧붙였습니다.
안진호 교수는 구체적으로 펠리클, 포토레지스트, EUV 마스크 등을 언급하며 “EUV 장비를 들여와도 장비의 퍼포먼스는 소재에 따라 많이 좌우된다”며 “(위에 언급한) 소재·부품들은 각자 상호 보완관계에 놓여 있어 수율에 큰 영향을 준다”고 설명했습니다. 안 교수는 “결국 현재 EUV장비를 도입해도 관련 생태계를 조성하지 못하면 어려움에 봉착할 수밖에 없다”며 “공급 벤더들과 파트너십을 강화해 기업이 필요한 시점에 필요한 소재를 공급받을 수 있도록 해야 한다”고 말했습니다.