1999년 설립된 뉴파워프라즈마는 플라즈마를 이용해 반도체·디스플레이·태양광 등 다양한 분야의 장비에 적용되는 RPG(Remote Plasma Generator), RFG(Radio Frequency Generator), 매처(Matcher) 등을 개발·생산하는 업체다. 플라즈마는 고체, 액체, 기체에 이어 ‘제4의 물질’로 불리며 기술 진입장벽이 높은 분야다.
RPG는 가장 큰 매출 비중을 차지한다. 원격으로 플라즈마를 발생시켜 장비의 챔버 내 남은 잔류가스를 신속히 제거한다. 이 부문 국내 1위, 세계 2위의 점유율을 기록하고 있다. RFG와 Matcher는 하나의 세트로 공급된다. RFG는 고주파 전력을 발생시키고 매처는 RFG에서 발생한 고주파 전력을 손실 없이 챔버에 전달하는 기능을 맡는다.
지난해 개별 기준 매출액은 503억원으로 전년대비 43.2% 성장했고 영업이익률 17.1%를 기록했다. 2014년 이후 해외시장에서 두 배 이상의 성장세를 시현하고 있다. 현재 디스플레이와 반도체에 주로 적용되는 플라즈마 기술이 태양광·전기차 전원, 핵융합 발전, 바이오 등 다양한 분야에 적용될 전망이다.
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