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에스앤에스텍 측은 “정부 지정 ‘소부장(소재·부품·장비) 강소기업’인 에스앤에스텍은 산업은행에서 K-반도체 육성을 위한 특별자금 성격 시설자금 대출 한도 승인을 받고 차세대 반도체 신사업 투자를 위한 재원을 확보한 뒤 양산 준비에 나선다”고 설명했다.
에스앤에스텍은 2002년 반도체와 디스플레이 공정에 들어가는 소재인 블랭크마스크를 국산화해 삼성전자, SK하이닉스를 비롯해 중국, 대만에 제품을 수출 중이다. 특히 10나노미터 이하 미세회로선폭 공정에 적용할 수 있는 EUV 장비를 도입하는 곳이 늘면서 EUV 공정 소재인 펠리클 수요가 늘고 있다.
에스앤에스텍은 이미 투과율 90% 반도체 EUV 펠리클을 개발한 뒤 양산을 위한 품질 테스트를 진행 중이다. 에스앤에스텍 관계자는 “이번 시설자금 한도 승인 결정은 EUV 펠리클 양산 시설과 함께 EUV 블랭크마스크 생산을 위한 장비를 추가로 확보하기 위한 것”이라고 말했다.