TSMC "전체 공장 설비 80% 이상 복구··일부 라인은 시간 더 필요"

[이데일리 이윤정 기자] 세계 최대 반도체 위탁생산(파운드리) 기업인 대만 TSMC가 지진으로 부서진 공장 설비의 80% 이상을 복구했다고 밝혔다.

4일 로이터와 블룸버그통신에 따르면 TSMC는 “전체 공장 설비의 80% 이상이 복구 됐다”며 “신축공사를 재개할 예정”라고 전했다. 다만 일부 라인은 생산 재개에 더 많은 시간이 필요할 전망이다.

대만 TSMC(사진=AFP).

대만 동부 화롄현 앞바다에서는 지난 3일 오전 규모 7.2의 강진이 발생했다. 해당 지진은 25년 만에 가장 강력한 지진이었다. 현재까지 최소 10명이 숨지고 1067명이 다쳤다. 대만 당국은 4일까지 약 200회의 여진이 발생했으며 앞으로 2~3일 동안 여진이 이어질 수 있다고 전망했다.

TSMC는 지진 직후 성명을 내고 “지진으로 생산라인 일부 장비가 손상됐지만, 극자외선(EUV) 노광장비는 피해를 입지 않았다”며 “완전한 복구를 위한 자원을 총동원하고 있다”고 밝혔다. EUV는 얇은 실리콘 덩어리인 ‘웨이퍼’에 반도체 회로를 그리는 노광 장비로 1대에 수천억원에 달하는 핵심 장비다. 네덜란드 ASML에서 독점 생산하는 EUV는 7nm(나노미터·10억분의 1m) 이하 첨단 반도체 공정에 필수적이며 진동에 민감하다.

한편 타이난에 위치한 18공장은 가장 최근에 완공됐으며 세계에서 가장 앞선 3nm 및 5nm 공정의 반도체를 만드는 공장이다. 외신들은 일부 최첨단 반도체의 경우 24시간 가동되는 공장의 진공 환경에서 생산된다며 생산 설비가 잠시나마 멈췄다면 생산한 반도체가 손상됐을 가능성이 있다고 주장했다.