황철주 회장 "차세대 기술 개발, 중장기 성장성 확보"

황철주 주성엔지니어링 회장 (제공=주성엔지니어링)

[이데일리 강경래 기자] “반도체와 디스플레이, 태양광 분야에서 미래 시장을 창출하기 위한 차세대 기술 개발에 박차를 가하고 있습니다.”

황철주 주성엔지니어링(036930) 회장은 3일 “시공간 분할 원자층증착장비(ALD)인 ‘가이던스 시리즈’(Guidance Series)로 반도체 초미세 공정에 대응할 것”이라며 “태양광은 세계 최초로 발전전환효율(빛을 전기로 바꾸는 비율) 35% 이상을 구현할 수 있는 기술 확보에 총력을 기울이고 있다”며 이같이 밝혔다.

황 회장이 이끄는 주성엔지니어링은 전체 임직원 중 65%가량이 연구·개발(R&D) 인력이다. 국내 장비 업계에서 가장 많은 3000개 이상 누적 특허를 확보했다. 매년 매출액 중 20%가량을 R&D에 투자한다. 주성엔지니어링이 1993년 설립된 후 누적 R&D 투자액은 1조원 이상이다.

특히 주성엔지니어링은 반도체 산업과 관련, 메모리반도체뿐 아니라 다양한 반도체 분야로 장비 영역을 확장 중이다. 황 회장은 “반도체 산업은 원가 경쟁력 확보를 위해 초미세 공정으로 기술이 빠르게 진화한다. 이 과정에서 회로선폭은 더 좁아지고 패턴 종횡비도 증가하면서 박막을 구현하는 데 어려움이 따른다”며 “차별화된 ALD 기술로 만든 가이던스 시리즈는 초미세 공정에서도 고순도 막질을 구현할 수 있다. 커패시터뿐 아니라 트랜지스터, 인터커넥터 등 다양한 공정으로 확대 적용이 가능하다”고 설명했다.

주성엔지니어링은 OLED(유기발광다이오드) 산화막 공정용 IGZO(인듐·갈륨·아연·산소) 장비 개발도 마쳤다. 이 장비는 ALD와 CVD(화학기상증착) 모두 적용이 가능한 하이브리드 방식으로 이를 공정에 적용하면 전자 이동 속도를 향상시키는 동시에 전력소모량을 크게 줄일 수 있다.

황 회장은 “디스플레이 산업은 LCD(액정표시장치)에서 OLED로 가속화 한다. 아울러 OLED가 스마트폰에 이어 자동차, TV 등으로 적용이 확대된다”며 “10.5세대 OLED 공정에 적용할 수 있는 PE CVD, ALD 장비를 보유하는 등 OLED 대면적화에 대응 중”이라고 밝혔다.

황 회장은 태양광 산업도 주목한다. 최근 글로벌 환경변화로 인해 각국에서 신재생에너지 투자 계획을 앞당기는 추세다. 황 회장은 “새로운 태양광 기술인 ‘HJT’(Hetero Junction Technology) 개발에 주력해왔다. 이를 적용하면 양면 발전을 통해 발전전환효율을 높일 수 있다. 공정도 단순해 제조원가를 획기적으로 줄일 수 있다”며 “HJT 방식은 차세대 태양전지 ‘탠덤’(Tandem)을 구현하는데 가장 적합해 다양한 분야에 폭넓게 적용될 것”이라고 설명했다.

주성엔지니어링은 그동안 확보한 반도체 증착, OLED 대면적 기술을 기반으로 HJT 기술과 페로브스카이트 기술을 융·복합, 35% 이상 발전전환효율이 가능한 탠덤 장비를 업계 최초로 선보일 예정이다. 황 회장은 “전 세계적인 탄소중립 기조로 국내외 유수 기업들이 자발적으로 ‘RE100’, ‘ESG’ 경영에 동참한다. 아울러 전기자동차, 도심항공교통(UAM) 등 차세대 모빌리티 산업이 성공하기 위해선 35% 이상 효율을 내는 탠덤 태양광 기술이 반드시 필요하다”며 “태양광 분야에서 미국과 유럽, 중동 등 업체들과 긴밀한 협력을 진행 중”이라고 말했다.

이어 “주성엔지니어링 태양광 기술이 온실가스 감축을 통한 탄소중립, 신재생에너지 산업 발전에 기여할 것”이라고 덧붙였다. 한편, 신한금융투자는 주성엔지니어링이 올해 매출 4766억원, 영업이익 1373억원을 기록하며 고성장을 이어갈 것으로 예상했다.