신성이엔지, '반도체 대전' 참가…클린룸 장비 선봬

[이데일리 강경래 기자] 신성이엔지(011930)는 오는 7일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘제24회 반도체 대전’(SEDEX2022)에 참가, 클린룸 주요 장비를 선보인다고 5일 밝혔다.

신성이엔지는 1977년 설립된 이래로 반도체 산업 클린 환경을 조성해 왔다. 특히 지난 1991년 국내 최초로 클린룸 주요 장비인 ‘FFU’(Fan Filter Unit)를 국산화했다. 클린룸은 반도체와 디스플레이 등 첨단 제품을 제조하는 고청정 공간으로 먼지와 온·습도 등을 제어한다.

산업용 공기청정기인 FFU는 첨단 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 효율적으로 제어, 제품 품질과 생산 수율을 높이는 클린룸 핵심 장비다. 신성이엔지가 전 세계 60% 이상을 점유한다.

신성이엔지는 이번 행사에서 FFU 외에 △기류 연동 시스템 △휘발성 유기화합물 제거 장비(V-마스터) △파티클 가시화 시스템 등을 공개했다. 모두 공기 제어 기술을 바탕으로 개발, 고청정 공간을 조성하기 위한 장비들이다.

휘발성유기화합물(VOCs)을 제거하는 ‘V-마스터’는 신성이엔지가 2005년 국내 최초로 개발했다. 로터를 이용해 공장 및 클린룸 내 휘발성유기화합물을 95% 이상 제거한다. 반도체와 디스플레이 등 공정 안에 남아 있는 유해물질을 제거하기 위한 장비다.

기류 연동 시스템은 클린룸 상부·측면에 설치한 뒤 장비 내부 압력 유지와 청정한 공기를 공급하는 기능을 한다. 공기 흐름이 역방향으로 흐를 경우 내부에 있는 기류방향표시기가 이를 감지한 뒤 FFU 팬 회전율을 높여 정방향으로 흐르도록 한다.

파티클 가시화 시스템은 반도체 불량을 발생시키는 파티클을 가시화해 오염 원인을 파악하고 해결책을 도출하는 데 사용한다. 신성이엔지 관계자는 “1980년대 국내 반도체 산업이 태동하던 시기에 클린룸 장비 국산화를 일구며 관련 산업이 성장할 수 있는 밑거름 역할을 했다”며 “이번 전시회를 통해 클린룸 주요 장비와 관련 기술을 알릴 것”이라고 말했다.

신성이엔지 FFU 장비