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- 오세훈, 과거 '오명' 되풀이될라..."서울 대폭우 피해, 죄송"
- [이데일리 박지혜 기자] 오세훈 서울시장이 9일 서울에서 속출한 폭우 피해에 대해 “송구하다”며 사과했다.오 시장은 이날 오전 페이스북에 “어제 대폭우로 서울에서 큰 인명 피해가 있었다”며 “어떤 경우에도 시민의 안전을 책임져야 하는 시장으로서 희생자와 유가족 그리고 불편을 겪으신 피해 시민들께 죄송하다”고 전했다.그는 “피해가 컸다. 동작구, 강남구, 서초구, 관악구 등 서울 시내 곳곳이 침수되고 정전돼 큰 불편을 겪으셔야 했다. 수많은 차량이 물에 잠기고, 퇴근을 포기해야 하는 상황도 벌어졌다. 일부 지하철역은 역류와 침수로 가동이 멈췄고, 학원가에서는 아이들의 발이 묶이는 일도 있었다”며 “복구작업을 신속히 하겠다”고 밝혔다.그러면서 “서울시는 8일 오전 7시부터 재난안전대책본부를 가동하며 24시간 비상 대응 체제를 유지하고 있다”고 강조했다.오세훈 서울시장이 중부지방을 중심으로 폭우가 쏟아진 8일 밤 서울시청 풍수해대책상황실을 찾아 집중호우로 인한 침수 피해 상황을 보고받고 있다 (사진=뉴스1)오 시장은 “침수된 지하철역 11곳 중 10곳은 현재 정상 운행 중이고, 9호선 동작역은 오후 2시에 개통 예정이다. 침수된 지하차도 11곳 중 8곳은 복구 완료됐고, 개포·염곡동서·동작 지하차도는 오늘 중으로 복구할 예정”이라며 “도로침수, 산사태, 축대 및 담장 파손 지역은 추가 피해를 막기 위해 응급조치하고 있다”고 설명했다.그는 “아직 끝나지 않았다”며 “모레까지 강우가 이어진다는 예보가 있어 추가 피해가 우려되는 상황”이라고 했다.이어 “피해지역, 위험지역은 최대한 직접 챙기겠다”며 “모든 자원을 동원해 피해를 최소화할 수 있는 선제적 조치를 하겠다”라면서 글을 맺었다.과거 오 시장에게 ‘오세이돈’이란 오명이 붙기도 했다. 2011년 한강 르네상스, 수상도시 서울·디자인 서울 등 서울시가 개발행정-토건사업에만 집중한 나머지 비 피해를 자초했다는 지적이 나오면서다. 특히 당시 오 시장 재임 기간 5년 동안 서울시의 수해방지예산이 10분의 1 규모로 격감했다는 보도가 나오자 민주당의 공세와 누리꾼의 비난이 거세진 바 있다.오세훈 서울시장이 9일 오전 전일 내린 집중호우로 침수피해를 본 서울 동작구 사당동 극동아파트 축대 붕괴 현장을 찾아 피해 상황을 살펴보고 있다 (사진=서울시)기상청은 전날 서울에 내린 비는 동작구 기준 381.5mm로 1920년에 기록된 354.7mm를 크게 웃돌며 1위를 기록했다고 밝혔다.동작구의 시간당 강우량도 141.5mm로 1942년의 최고 기록 118.6mm를 경신해 서울 관측이 시작된 1907년 이후 115년 만에 가장 강한 비로 기록됐다.기상청은 북태평양 고기압 가장자리에서 중부지방에 형성된 정체전선이 강하게 발달하면서 기록적인 폭우가 쏟아졌다고 밝혔다.간밤 폭우로 서울 관악구 신림동에 사는 일가족 3명이 사망하는 안타까운 사건도 발생했다. 이들 중 한 명은 발달장애가 있었던 것으로 전해졌다.이들은 전날 폭우로 싱크홀이 발생해 주택 내로 물이 가득 차면서 고립된 것으로 알려졌다. 침수 신고를 해달라는 요청을 받은 지인이 경찰에 신고했지만 배수 작업이 끝난 뒤 일가족은 이미 사망한 상태였다.한편 기상청은 “오늘 밤사이 다시 비구름이 발달하면서 서울 등 수도권에 최고 300mm의 비가 더 내리겠다”며 피해가 확산하지 않도록 대비해 달라고 당부했다.
- 물폭탄 맞은 인천, 밤사이 빗줄기 계속…침수피해 속출
- 8일 오후 인천 부평구 부평구청역 인근 도로가 빗물에 잠겨 있다. (사진 = 연합뉴스 제공)[인천=이데일리 이종일 기자] 지난 8일 폭우가 쏟아진 인천에서 9일 새벽까지 빗줄기가 이어지며 피해가 속출했다.9일 인천시에 따르면 지난 8일 오전 8시부터 이날 오전 6시까지 부평구 구산동 272.5㎜, 옹진군 영흥도 254.5㎜, 중구 전동 223.9㎜, 연수구 동춘동 190.5㎜ 등의 강수량이 기록됐다.같은 기간에 소방청에 신고된 인천지역 호우피해는 336건이었다. 인천 군·구에도 277건의 피해신고가 접수됐다. 군·구에 신고된 지역별 피해 건수는 부평구 122건, 중구 40건, 미추홀구 30건, 동구·남동구 각 20건, 연수구 19건, 서구 18건, 계양구 6건, 옹진군 2건 등의 순이었다.이번 폭우로 8일 오후 9시20분부터 도로 침수로 남동구 장수사거리 인근 차량 운행이 통제됐고 남동공단 입구 삼거리도 오후 9시30분부터 2시간50분간 운행이 금지됐다. 8일 오후 11시에는 옹진군 영흥면 내리의 한 도로가 침수돼 소방당국이 50t의 빗물을 빼내는 작업을 했다. 또 같은 시각 서구 가좌동에서도 빌라 지하가 침수돼 배수작업이 이뤄졌다. 계양구 계산동에서도 빌라 지하가 침수돼 일가족 4명이 숙박업소로 대피했고 미추홀구 용현동에서는 상가 1층이 물에 잠겨 4명이 구조됐다. 인천시는 수해로 숙박업소에 대피한 주민 41명에게 숙박비와 식비 등 재난구호기금을 지원했다.시 관계자는 “기상과 피해 상황을 모니터링하며 다양한 지원대책을 추진하겠다”고 말했다.
- 아수라장 된 출근길…벌써부터 퇴근길 걱정에 '발 동동'
- [이데일리 김민정 기자] 80년 만에 중부지방 일대에 최대 400mm의 기록적 폭우가 쏟아지면서 수도권 출근길 교통대란이 빚어지고 있다. 이런 가운데 오늘(9일)도 중부지방을 중심으로 집중호우가 이어질 전망이어서 벌써부터 많은 직장인은 퇴근길 걱정에 발을 동동 구르고 있다.(사진=연합뉴스)9일 서울시에 따르면 한강 상류 지역 집중호우로 이날 오전 4시 40분부터 강변북로 마포대교~한강대교 구간 양방향이 전면 통제됐다. 또 반포대로 잠수교와 경부고속도로 서초~양재, 올림픽대로 여의 하류~여의 상류, 동부간선도로 성수 분기~군자교, 내부순환로 성동~마장, 강변북로 동작대교~한강대교 등도 통제됐다. 집중호우에 따른 침수로 서울 지하철 9호선 일부 구간도 운행이 중지됐다. 1~8호선은 정상 운행 중이며, 전날 역사가 침수된 서울 지하철 7호선 이수역과 신대방역도 현재 복구가 끝나 정상 운행되고 있다.경기지역도 25곳이 통행이 금지되는 등 상황이 좋지 않다. 지역별로는 수원 3곳, 성남 6곳, 안산 2곳, 오산 3곳, 용인 4곳, 의왕 2곳, 여주 2곳, 양평 2, 고속도로 1곳 등이다.(사진=연합뉴스)한국도로공사 등에 따르면 현재 용인서울고속도로 용인방향 서판교에서 서분당 구간 13km가 통제됐다. 이 구간에는 인근 산비탈 면에서 흙이 쏟아진 상황이다. 또 수원시 팔달구 화산지하차도와 성남시 수정구 남한산성로 입구, 안산시 수인선 지하차도, 오산시 누읍동 잠수교, 용인시 기흥장례식장 부근 지곡천 도로 등이 도로 침수와 하천범람으로 통제됐다.정부는 재난위기 경보를 가장 높은 단계인 심각으로 격상했다. 중대본은 비상 3단계를 발령하고 민간기관과 단체에 출근 시간 조정을 요청했다. 수도권 행정·공공기간의 출근 시간은 오전 11시로 조정됐다.전날 수도권을 포함한 중부지방에 천둥과 번개를 동반한 폭우가 쏟아지면서 곳곳에서 도로가 통제되거나 주택이 침수되는 등 피해가 잇따랐다. 이날 서울은 시간당 강수량 역대 최고치 118.6mm(1942년 8월5일)를 80년 만에 넘어섰다. 이에 복구 작업을 하던 구청 지원이 숨지는 등 5명이 사망하고, 4명이 실종되는 사고도 발생했다.(사진=연합뉴스)뿐만 아니라 밤늦게까지 고통스러운 퇴근길이 이어지기도 했다. 도로 한복판에 차들이 잠겨 있어 옴짝달싹 못하고, 차 바퀴가 반쯤 잠긴 채 거북이걸음으로 운행하는 모습도 눈에 띄었다. 일부 직장인들은 귀가를 포기하고 인근 숙박시설을 급히 예약하기도 했다.이처럼 전날에 이어 이날 출근길까지 아수라장이 되자 직장인들은 벌써부터 퇴근길 걱정을 하고 있다.기상청은 이날에도 경기도와 인천 등 중부지방을 중심으로 많은 비가 내릴 것으로 전망했다. 예상 강수량은 수도권, 강원 내륙·산지, 충청 북부, 경북 북서 내륙 100∼200㎜, 강원 동해안, 충청권(북부 제외), 경북 북부(북서 내륙 제외), 서해5도 50∼150㎜, 전북 북부, 울릉도·독도 20∼80㎜ 등이다.
- 연천 필승교 수위↓…경기북부 비 소강 상태
- [의정부=이데일리 정재훈 기자] 지난 8일부터 중부지방에 내린 집중호우로 거침 없이 올라가던 최북단 임진강 필승교 수위가 9일 오전 8시 현재 3.96ｍ로 낮아졌다.필승교 수위는 전날 오후 7시 50분께 5.3ｍ를 넘어섰으나 밤사이 비가 소강상태를 보이면서 이날 오전 5시 30분부터 하강세다.임진강 유역은 필승교 수위에 따라 4단계로 나눠 관리한다.수위가 1ｍ를 넘어서면 하천 행락객 대피, 2ｍ는 비홍수기 인명 대피, 7.5ｍ는 접경지역 위기 대응 관심 단계, 12ｍ는 접경지역 위기 대응 주의 단계가 각각 발령된다.8일 군남홍수조절댐이 임진강 상류에서 흘러들어 온 물을 방류하고 있다.(사진=연합뉴스)오전 8시 기준 군남댐 수위는 28.722ｍ이며 초당 방류량은 2435t, 유입량은 초당 2421t이다. 군남댐의 계획홍수위는 40ｍ다.한편 지난 8일 오전 0시부터 이날 오전 8시까지 경기북부에서 지역별로 내린 비의 양은 포천 관인 160㎜, 양주 장흥면 146㎜, 의정부 145㎜, 가평 142㎜, 파주 141.5㎜, 연천 군남 130.5㎜, 구리 138㎜, 남양주 115.5㎜ 등이다.
- 부테린 “300배 빨라질 것”…상승세 탄 이더리움
- [이데일리 최훈길 기자] 코인 시장 하락세가 멈췄다. 내달 업그레이드를 앞둔 이더리움은 지속적인 상승세다. 10일 공개되는 미국의 7월 소비자물가(CPI)가 향후 금리와 가상자산 시장의 향배를 가늠하는 포인트가 될 전망이다. 이더리움을 만든 비탈릭 부테린은 지난 8일 오전 서울시 강남구 그랜드 인터콘티넨탈 서울 파르나스 호텔에서 열리는 ‘코리아블록체인위크 2022(주최 팩트블록·해시드)’에서 “암호화폐(가상자산) 결제도 실제로 2~3년 내에 (일상적으로) 진행할 수 있을 것”이라며 이더리움 등 암호화폐를 통한 결제 시장 대격변을 예고했다. (사진=연합뉴스)9일 가상자산 시황 사이트 코인마켓캡에 따르면 비트코인 시세는 이날 현재(오전 7시 기준) 전날 대비 2.33% 올라 2만3828달러를 기록했다. 1주일 전보다는 3.58% 상승한 것이다. 이더리움과 알트코인(비트코인 제외 암호화폐) 대부분도 전날, 1주일 전보다 올랐다. 특히 이더리움은 전날보다 3.26%, 1주일 전보다 9.29% 오른 1771달러를 기록했다. 이날 국내 업비트 기준으로 비트코인은 전날보다 2.44% 올라 3143만원을 기록했다. 전 세계 가상자산 시가총액은 1조달러를 넘어섰다. 코인마켓캡에 따르면 9일 오전 7시 현재 전체 가상자산 시가총액은 1조1254달러 집계됐다. 지난 6월23일 시가총액이 9000억달러 아래로 떨어져 바닥을 찍은 뒤 꾸준히 상승세를 보이고 있다. 투자 심리도 회복세다. 가상자산거래소 업비트를 운영 중인 두나무가 제공하는 ‘공포-탐욕지수’는 9일 기준 59.37점으로 ‘중립’으로 나타났다. 전날(54.68·중립), 1주일 전(57.87·중립)보다 상승한 것이다. 이 지수는 업비트 원화시장에 2021년 2월 이전 상장한 111개의 코인에 대한 지수다. 0으로 갈수록 ‘매우 공포’로 시장 위축을, 100으로 갈수록 ‘매우 탐욕’으로 시장 호황을 뜻한다. 이같은 상승세에는 이더리움 업그레이드 기대감도 반영된 것으로 풀이된다. 이더리움 개발자들은 9월19일을 목표일로 ‘머지(the Merge)’라는 업그레이드를 추진 중이다. 이더리움을 생성하는 합의 메커니즘이 기존 작업증명(PoW·proof-of-work)에서 지분증명(PoS·proof-of-stake)으로 바뀌는 게 업그레이드 골자다. 현재는 블록의 암호를 많이 풀어야 하는 지난한 작업 구조인데, 업그레이드가 되면 각자 보유한 지분율에 따라 코인 보상을 즉각 받을 수 있다. 이에 따라 거래 속도가 빨라지고 수수료도 낮아질 전망이다. 이더리움을 만든 비탈릭 부테린은 지난 8일 서울에서 열린 컨퍼런스에서 “이더리움 초당거래속도(TPS)가 현재 20 정도에서 (300배인) 6000까지 뛸 수도 있을 것”이라며 “20달러 수준인 거래 수수료를 (400분의 1인) 5센트까지 낮출 수 있다”고 봤다. 이어 “암호화폐(가상자산) 결제도 실제로 2~3년 내에 (일상적으로) 진행할 수 있을 것”이라고 전망했다. 9일 오전 비트코인, 이더리움, 알트코인(비트코인 제외 암호화폐) 대부분이 전날, 1주일 전보다 올랐다. 특히 이더리움은 전날보다 3.26%, 1주일 전보다 9.29% 오른 1771달러를 기록했다. (사진=코인마켓캡)시장에서는 오는 10일 지표가 어떻게 나올지가 이번 주의 최대 관전포인트로 보고 있다. 미국의 7월 CPI가 10일 오후 9시 30분(한국 시각)에 발표된다. 시장에서는 7월 CPI가 전년대비 8.7~8.9% 상승할 것으로 예상하고 있다. 6월(9.1%)보다 낮지만 여전히 높은 수준이다. 이대로 가면 연준이 내달 21일 ‘자이언트스텝(75bp·0.75%)’을 밟을 가능성이 있다. 뉴욕 증시는 혼조세다. 8일 다우존스30산업평균지수는 전장보다 29.07포인트(0.09%) 오른 3만2832.54로 거래를 마쳤다. 스탠더드앤드푸어스(S&P)500지수는 전장보다 5.13포인트(0.12%) 하락한 4140.06을 나타냈다. 나스닥 지수는 전장보다 13.10포인트(0.10%) 밀린 1만2644.46을 기록했다. 반도체 대장주 엔비디아가 실적 예상치를 하향 조정하면서 기술주 전반이 하락세를 보였다. 오안다의 선임 시장 분석가 크레이그 얼람은 고객들에 보낸 노트에서 “암호화폐는 지난 금요일의 충격(예상치를 상회한 미국의 고용지표)을 훨씬 빨리 떨쳐버린 것 같다”며 “비트코인은 2만5000달러를 겨냥하는 것 같다”고 내다봤다. 캐피털 어드바이저스의 제이 해트필드 창립자는 마켓워치에 “S&P500지수가 4180 저항선 근방에서 멈춰 섰으며, 모두가 CPI를 기다리고 있다”며 “지수는 (지표가 나오는) 수요일까지 매우 좁은 거래 범위에서 움직일 것”이라고 전망했다. 이미선 빗썸경제연구소 리서치센터장은 “내년 상반기 연준의 금리 인하 가능성, 2024년 상반기로 예정된 비트코인 반감기 일정, 디파이(탈중앙화 금융) 시장의 디레버리징(deleveraging·부채 상환) 등을 고려할 때 올해 하반기에 비트코인 가격이 바닥을 다질 것”이라고 말했다.
- [미래기술25]3나노 시대 열렸다…반도체 극초미세공정, 그 끝은
- [이데일리 최영지 기자] 코로나19 대유행을 겪으면서 4차 산업혁명이 우리 일상생활 속에 빠르게 스며들고 있습니다. 재택 및 원격근무가 길어지면서 인공지능(AI)에서부터 사물인터넷(IoT), 5세대 이동통신(5G) 발전 속도가 빨라졌고 다양한 종류의 스마트 기기 역시 늘어나고 있습니다. 새롭게 생겨나는 기술과 기기에 맞춰 변화해야 하는 것은 바로 반도체입니다. 특히 전자기기는 더욱 소형화되고 있고 기능도 다양해지고 있습니다. 기기에 들어가는 반도체 크기도 작아져야 하고 더 많은 정보를 빠르게 처리해야 하는 기능도 갖춰야 하기 때문입니다. 이제는 초고집적 반도체의 시대가 열렸다고 할 수 있습니다. 차세대 디바이스에 맞춰 점점 작아지는 반도체와 이를 만드는 극초미세 공정에 대해 알아보겠습니다.삼성전자 화성캠퍼스에서 3나노 양산에 성공한 모습. (사진=삼성전자)◇머리카락 한올보다 훨씬 미세하게…초고집적 반도체 시대 열렸다2년마다 반도체 칩 집적도가 2배씩 증가한다는 ‘무어의 법칙’에 발맞추듯 오늘날 반도체 칩 안에는 반도체를 구성하는 수십억개의 소자가 담겨 있습니다. 전류나 전압의 흐름을 조절하는 소자인 트랜지스터가 얼마나 많이 들어가느냐에 따라 반도체 성능이 결정된다고 볼 수 있습니다. 그렇다면 반도체 크기가 도대체 얼마나 더 작아질 수 있을까요?최근 삼성전자가 세계 최초로 3나노미터 파운드리(반도체 위탁생산) 반도체 제품 양산을 시작했다는 뉴스를 보셨을 것니다. 먼저 ‘3나노미터’가 얼마나 작은 것인지부터 알아봅시다. 1나노미터는 흔히 머리카락 굵기의 10만분의 1로 표현됩니다. 반도체 회로의 선폭을 의미하는 나노미터는 반도체의 미세한 정도를 나타내는 단위입니다.회로 선폭을 가늘게 만들수록 더 많은 소자를 담아 성능을 높일 수 있습니다. 삼성전자의 3나노 공정은 현존하는 기술 중 가장 얇은 회로를 넣을 수 있는 공정 기술로, 경쟁사인 대만 TSMC보다 반년 정도 앞서 있다는 평가를 받고 있습니다. 반도체업계에서는 보통 7나노 이하 공정을 첨단공정 및 초미세공정이라고 말합니다. 삼성전자와 TSMC가 첨단공정 개발에 경쟁 속도가 붙은 것은 2018년부터입니다. TSMC가 2018년 삼성전자보다 앞서 7나노 공정에서 반도체를 생산 및 양산하는 것에 성공했습니다. 선단공정인 5나노 역시 TSMC가 삼성전자보다 빨랐습니다. 계속 밀리던 삼성전자가 3나노 공정 양산에 성공하며 양사의 최소선폭 공정인 3나노에서 앞서 나가는 모습입니다. TSMC의 입장에선 다시 삼성전자를 따라잡기 위한 공정 개발에 한창이라고 볼 수 있죠.이렇게까지 경쟁을 하는 이유는 무엇일까요? 작으면서도 성능이 좋은 반도체를 만들기 위해서입니다. 반도체를 만들어 판매하는 기업 입장에서도 하나의 웨이퍼에 더 많은 반도체 칩을 만들어야 제품 경쟁력을 유지할 수 있습니다. 또 반도체를 구매하는 고객사들은 크기가 작으면서도 전력 소모가 작고 더욱 빠르게 정보처리가 가능한 반도체를 원하고 있습니다. 고성능·고효율 반도체가 궁극적으로 어떤 제품에 들어가는지도 궁금해집니다. 인류의 가장 복잡한 컴퓨팅 과제라고 알려져있는 고성능 컴퓨팅(HPC) 시스템반도체로 쓰이게 됩니다. TSMC가 올해 1분기에 생산한 반도체 중 HPC용 반도체가 전체 41% 비중을 차지하는 것만 봐도 HPC용 반도체가 점차 늘어날 것으로 보입니다. 이뿐 아니라 모바일 시스템온칩(SoC)과 자율주행차 등으로 사용범위는 점차 확대될 것으로 보입니다.EUV를 이용해 반도체를 만드는 과정 (그래픽=이데일리 김정훈 기자)◇초미세공정 성공 요소는 장비와 신기술반도체 장비업체 ASML이 슈퍼 ‘을’로 불리는 이유점점 더 미세해지는 반도체 회로를 그리기 위해선 빛으로 실리콘 웨이퍼 위에 반도체 회로 모양을 그리는 장비가 필요합니다. 반도체는 웨이퍼 위에 빛에 반응하는 감광제(포토레지스트)를 덮은 후 회로 패턴을 따라 빛을 쪼이면서 빛에 닿은 부분만 깎거나 그 부분만 남기는 방식으로 밑그림을 그려 전류가 통하게 만들 수 있습니다.회로를 그릴 때 빛의 파장이 짧으면 짧을수록 더 가는 회로를 만들 수 있었습니다. 1980년대에는 수은 램프를 이용한 G-line(436nm 파장)과 I-line(365nm 파장) 빛을 이용했습니다. 이후 자외선 레이저인 불화크립톤(KrF·248nm 파장)과 불화아르곤(ArF·193nm 파장)이 개발돼 선폭을 줄이는 데 활용했습니다. 요즘도 불화아르곤 빛을 이용한 심자외선(DUV) 노광장비를 많은 업체들이 자동차, 컴퓨터, 로봇 등에 쓰이는 반도체를 만드는 데 이용하고 있습니다. 다만 10나노급 반도체를 만들며 한계에 봉착합니다. 이보다 더 정교한 회로를 그릴 수 있는 빛이 필요했기 때문입니다.앞서 언급한 DUV 노광장비를 만드는 네덜란드 반도체 장비기업인 ASML은 보다 발전한 장비를 2017년 세상에 내놓게 됩니다. 그게 바로 극자외선(EUV) 노광장비입니다. EUV 파장은 13.5nm로 불화아르곤의 14분의 1 수준입니다. 빛 파장이 짧아 더 미세한 회로를 그릴 수 있고, 여러 레이어(층)에 패턴을 새길 수 있어 집적도를 대폭 높였습니다. 이 EUV 장비가 개발되면서 7나노급·5나노급 반도체 제조의 길이 열렸습니다. EUV 노광장비를 사용하게 되면, 웨이퍼에 회로를 그려 넣는 작업을 한층 간소화할 수 있고 회로가 그려진 마스크 숫자를 획기적으로 줄일 수 있습니다. 3나노 공정 역시 EUV 노광장비로 세밀한 반도체 회로 패턴 구현이 가능해졌습니다. 결국 EUV 장비가 있어야만 고성능·저전력·초소형 시스템반도체를 만들 수 있어 업체 간 장비 확보 경쟁은 더욱 치열해지고 있습니다. 통상적으로 장비업체가 반도체 제조업체에 장비를 납품해야 하지만, 제조업체들이 EUV 장비를 한대라도 더 확보하기 위해 경쟁을 벌이고 있는 것도 ASML이 슈퍼 을(乙)이라는 별명을 갖게 된 이유입니다.이제는 시스템반도체뿐 아니라 메모리반도체 분야에서도 적극 EUV 장비를 도입하고 있습니다. D램에서도 고성능·초소형 반도체의 요구가 많아지면서 집적도를 높일 수 있는 EUV 기술이 필요해졌기 때문입니다. 현재 D램 생산에 EUV 기술을 도입한 곳은 삼성전자와 SK하이닉스와 미국 마이크론 등이 있습니다.ASML는 극초미세 공정 요구에 발맞춰 차세대 EUV 노광장비 상용화를 앞두고 있습니다. 내년에 나올 신제품인 하이 NA EUV는 기존 EUV 장비보다 렌즈와 반사경 크기를 키워 더욱 미세한 회로를 새길 수 있습니다. 결국 미세공정이 발전할수록 장비 경쟁도 치열해질 것으로 보입니다.차세대 트랜지스터 구조 GAA(Gate-All-Around) (사진=삼성전자)게이트와 채널 접촉면 늘리고 크기도 자유자재로…GAA의 비밀삼성전자는 세계에서 처음으로 3나노 공정을 도입한 데 이어 이 공정에 신기술을 적용했습니다. 그중 하나가 GAA 공정입니다. 트랜지스터가 반도체의 전류 흐름을 보다 세밀하게 제어할 수 있도록 그 구조를 발전시킨 것입니다. 반도체 소자인 트랜지스터는 전류가 흐르는 채널과 채널을 제어하는 게이트로 구분됩니다. 트랜지스터에서 가장 중요한 것은 스위치 역할을 하는 게이트입니다. 게이트에 전압을 가하면 전류가 흐르고, 반대의 경우에는 전류가 차단되는 것이죠. 기존에 사용하던 평판(Planar) 트랜지스터는 게이트와 채널이 하나의 면으로 맞닿아 있는 평면(2D)구조였습니다. 트랜지스터의 크기를 줄이다 보면 게이트가 제 역할을 못하고 누설전류가 생기는 현상이 발생하는 등의 한계가 있었죠. 이를 개선하기 위해 개발된 것이 3D 구조의 핀펫(FinFET) 공정입니다. 구조가 물고기 지느러미(Fin) 모양을 닮았다고 해서 핀 트랜지스터라는 이름이 붙여졌습니다. 게이트와 채널 간 접하는 면이 넓을수록 효율이 높아진다는 점에 착안해 게이트와 채널이 3면에서 맞닿는 3차원 구조로 접점 면적을 키웠습니다. 결국 반도체 성능은 더욱 향상될 수 있었습니다. 초고집적 반도체가 점차 개발되며 반도체 크기가 점점 작아졌고, 작은 크기의 트랜지스터를 정밀하게 콘트롤해야 하는 상황에 직면하게 됐습니다. 또 4나노 이후의 공정에서 핀펫 구조로 더 이상 동작 전압을 줄일 수 없다는 한계도 발견됐습니다.그렇게 해서 나온 게 GAA 구조입니다. 게이트가 채널의 4면을 둘러싸고 있어 더욱 반도체의 전류를 세밀하게 제어할 수 있게 됐습니다. 트랜지스터는 게이트와 채널의 접촉면이 많을수록 채널 조정 능력을 높일 수 있습니다.삼성전자는 또 채널을 얇고 넓은 모양의 나노시트(Nanosheet) 형태로 구현한 독자적 MBCFET GAA 구조도 적용했습니다. 나노시트의 폭을 조정하면서 채널의 크기도 다양하게 변경할 수 있다는 것이 큰 특징입니다. 또 기존 핀펫 구조나 일반적인 나노와이어(Nanowire) GAA 구조에 비해 전류를 더 세밀하게 조절할 수 있어 고성능·저전력 반도체 설계에 장점이 될 수 있습니다.신기술을 적용한 공정은 기존 공정보다 무엇이 얼마나 더 좋아진 것일까요? 삼성전자 3나노 GAA 1세대 공정은 기존 5나노 핀펫 공정과 비교해 전력 45% 절감, 성능 23% 향상, 면적 16% 축소됐다고 합니다. GAA구조의 트랜지스터는 인공지능, 빅데이터, 자율주행, 사물인터넷 등 고성능과 저전력을 요구하는 차세대 반도체에 적극 활용될 예정입니다.
- 쓰러진 가로수 정리하던 구청직원 감전사…곳곳 비 피해
- 8일 밤 서울 강남구 대치역 인근 도로와 인도가 물에 잠기면서 차량과 보행자들이 통행하는 데 불편을 겪고 있다. 사진=연합뉴스[이데일리 김경은 기자] 8일 집중호우로 서울 동작구에서 쓰러진 가로수를 정리하던 63세 구청직원이 오후 6시50분경 감전으로 사망하는 등 이번 비로 각종 피해가 속출했다. 기상청에 따르면 이날 밤 11시 20분 기준 서울남부에 시간당 100㎜ 이상의 비를 내렸던 매우 강한 비 구름대는 다소 남하해 경기남부(군포, 안양, 과천, 광주 등)을 중심으로 시간당 60~100㎜의 비를 내리고 있다. 11시 기준 주요지점 강수량을 보면 서울 기상청 380㎜, 광명 316.5㎜, 부평(인천)242.5㎜, 경기광주 238.0㎜, 서울 128.8㎜ 등이다. 서울남부와 경기남부를 중심으로 비가 집중적으로 내리면서 침수 피해가 잇따랐다. 도로가 침수되고 철도 등 대중교통도 운행에 차질을 빚으며 시민들이 불편을 겪었다. 8일 밤 서울 동작구 이수역에 빗물이 유입되고 있다. 사진=연합행정안전부 중앙재난안전대책본부가 이날 밤 11시 기준 집계한 피해 상황에 따르면 경기도 연천과 파주에서 주택 6세대가 침수돼 10명의 이재민이 발생했다. 도시철도 침수로 경인선 구로~인천·병점, 4호선 창동~서울역, 경부선 금천구청역이 운행이 중단됐으며, 2호선 신대방역과 7호선 이수역, 9호선 동작역, 신림선 서원역은 지하철이 무정차로 통과했다. 도로는 인천 19곳, 경기 7곳이 침수됐다. 국도 3호선과 지방도 98호선 사면이 유실되고, 인천 중구는 옹벽이 붕괴돼 대피명령이 내려졌다. 경기 와초소하천과 광대1소하천의 제방도 부분유실됐다. 사유재산 피해도 잇따랐다. 인천은 주택과 상가 37건이 침수됐으며, 부천시 상가 지하 침수로 차량 8대가 침수되고 부천의 한 병원 건물이 정전돼 환자 260명이 타 병원으로 이송을 검토 중이며, 복구작업이 진행되고 있다. 도로와 하천변 출입 통제도 이뤄지고 있다. 서울은 도로 13개소를 통제했으며, 경기는 36곳, 인천 2곳, 강원은 1곳의 도로에 대한 진입을 통제하고 있다. 둔치주차장 19곳과, 30곳 하천변에 대한 통제가 이뤄지고 있으며, 여객선 19개 항로 24척도 운행이 중단됐다. 소방청에 따르면 경기와 강원에서는 하천급류로 발이 묶였던 12명에 대한 구조가 이뤄졌으며, 가로수와 도로 장애물 72건에 대한 작업이 이뤄졌다. 서울에 집중호우가 내린 8일 밤 서울 양재대로 인근 도로가 침수. 차량이 떠다니고 있다. 사진=연합
